Deposition
Têgihîştinê bistînin û pêvajoya pêşveçûnê zûtir bikin.
Enerjiya pêşkeftî çareseriyên dabînkirina hêzê û kontrolê ji bo serîlêdanên depokirina fîlima nazik û geometriyên cîhazê peyda dike.Ji bo çareserkirina kêşeyên pêvajoyek wafer, çareseriyên meyên guheztina hêza rast dihêlin ku hûn rastbûna hêzê, rastbûn, bilez û dubarebûna pêvajoyê xweştir bikin.
Em cûrbecûr frekansên RF, pergalên hêza DC, astên hilberîna hêza xwerû, teknolojiyên lihevhatî, û çareseriyên çavdêriya germahiya fiber optîk pêşkêşî dikin ku bi rastî we dihêlin ku hûn plazmaya pêvajoyê çêtir kontrol bikin.Em di heman demê de Fast DAQ™ û berhevkirina daneya xwe û komîteya gihîştinê yek dikin da ku têgihiştina pêvajoyê peyda bikin û pêvajoya pêşkeftinê bilezînin.
Di derbarê pêvajoyên hilberîna meya nîvconductor de bêtir fêr bibin da ku çareseriya ku li gorî hewcedariyên we be bibînin.
Pirsgirêka we
Ji fîlimên ku têne bikar anîn ji bo pîvanên çerxa yekbûyî heya fîlimên rêkûpêk û însulatîf (avahiyên elektrîkî), heya fîlimên metal (têkilî), pêvajoyên weya veqetandinê hewceyê kontrola asta atomê ne - ne tenê ji bo her taybetmendiyê, lê li seranserê waferê.
Ji xeynî strukturê bixwe, fîlimên weyên razandinî divê kalîteya bilind bin.Pêdivî ye ku ew xwedan strukturên genim, yekrengî, û qalindahiya konformal bin, û bê valahiyê bin - û ew ji bilî peydakirina stresên mekanîkî yên hewce (pêkhatî û kişandin) û taybetmendiyên elektrîkê ye.
Tevlihevî tenê her ku diçe zêde dibe.Ji bo çareserkirina tixûbên lîtografî (girêkên binî-1X nm), teknolojiyên nimûneyên ducarî û çaralî yên xwe-lihevkirî hewce dike ku pêvajoya depokirina we li ser her waferê çêbike û dubare bike.
Çareseriya me
Gava ku hûn serîlêdanên depokirina herî krîtîk û geometrîyên amûrê bi cîh dikin, hûn hewceyê rêberek bazarê ya pêbawer in.
Radestkirina hêza RF ya Enerjiya pêşkeftî û teknolojiya berhevkirina leza bilind dihêle hûn rastbûna hêzê, rastbûn, bilez û dubarebûna pêvajoyê ya ku ji bo hemî pêvajoyên depokirina pêşkeftî yên PECVD û PEALD hewce dike xweş û xweşbîn bikin.
Teknolojiya jeneratorê meya DC-ê bikar bînin da ku hûn bersiva arc-ya xweya mîhengkirî, rastbûna hêzê, leza, û dubarebûna pêvajoyê ya PVD (sputtering) û pêvajoyên depokirina ECD-ê baş rast bikin.
Feydeyên
● Stabiliya plazmayê ya pêşkeftî û dubarebûna pêvajoyê hilberînê zêde dike
● Radestkirina RF û DC ya rast bi kontrola dîjîtal a bêkêmasî re dibe alîkar ku karbidestiya pêvajoyê xweşbîn bike
● Bersiva bilez a ji bo guhertinên plazma û rêveberiya arcê
● Peldanka pir-astî bi birêkûpêkkirina frekansa adaptîv ve bijartina rêjeya etchê çêtir dike
● Piştgiriya gerdûnî heye ku ji bo pêbaweriya dema herî zêde û performansa hilberê peyda bike