Hêza Microwave
-
Microwave Power Supply
Dabînkirina hêzê ya guheztina mîkroş celebek nû ya dabînkirina hêza mîkropêlê ye ku li ser bingeha teknolojiya guhezbara frekansa bilind IGBT ye. Ew dabînkirina elektrîkê ya voltaja bilind a anode, dabînkirina hêza filamentê û dabînkirina hêza zeviya magnetîkî (ji bilî dabînkirina hêza mîkropêla 3kW) yek dike. Magnetrona pêlê şert û mercên xebatê peyda dike. Ev hilber di MPCVD, kişandina plazmaya mîkropê, deqandina plazmaya mîkro û qadên din de tê bikar anîn.